반도체공정개론

책소개

국가 직무 능력 표준 교육에서 반도체 이론과 공정 교재로서 창의적이고 전문적인 지식을 갖춘 전자 공학인 양성과 산업체 현장에서 적용할 수 있는 내용으로 보다 쉽고 친숙하게 이해할 수 있도록 구성한 교재이다. 반도체 분야를 전공하는 고등학교, 전문대학 및 대학교 학생들과 일반인들에게 안성맞춤일 것이다.

[인터넷 교보문고 제공]

목차

1장 반도체 이론(Semiconductor Theory) 
1.1 전기(Electric) 
1.2 원자(Atom) 
1.3 반도체(Semiconductor) 
연습문제(Excercise) 

2장 실리콘 결정(Wafer crystal) 
2.1 결정 구조(Crystal structure) 
2.2 결정면(Crystal plane) 
2.3 단결정 성장(Single crystal growth) 
연습문제(Excercise) 

3장 실리콘 웨이퍼 세정, 성장, 제조(Clean, Growth, make) 
3.1 크린룸(Clean room) 
3.2 웨이퍼 세정(Wafer clean) 
3.3 웨이퍼 성장(Wafer growth) 
3.4 웨이퍼 제조(Wafer make) 
연습문제(Excercise) 

4장 산화공정(Oxidation) 
4.1 산화(Oxidation) 
4.2 도펜트 주입(Dopant implantation) 
연습문제(Excercise) 

5장 박막 증착(Thinfilm deposition) 
5.1 물리기상증착(PVD: physical vapor deposition) 
5.2 화학기상증착(CVD: chemical vapor deposition) 
5.3 금속막 형성(Metal membrane) 
연습문제(Excercise) 

6장 포토리소그래피와 소자 제조(PhotoLithography, Device making) 
6.1 마스크(Mask) 
6.2 감광액(Photoresist, PR) 
6.3 포토 리소그래피(Photolithography process) 
6.4 소자 제조(Device making) 
6.5 MOSFET 제조(MOSFET make) 
6.6 패키지(Package) 
연습문제(Excercise) 

Appendix

[예스24 제공]

출판사 서평

반도체 공학은 재료, 소자 제조, 공정 분야로 1947년 미국 벨연구소의 윌리엄 쇼클리(William shockley), 존 바딘(John bardeen), 월터 브래튼(Walter brattain)이 처음으로 트랜지스터를 발명하면서 급속히 발전하게 되었다. 반도체 공학은 과학 분야와 일상생활에까지 영향력을 넓혀 나가고 있다. 반도체 공학의 학문은 첫째로 재료학적으로 물성과 물리학적 반도체 재료가 단결정, 다결정, 비정질 물질을 대상의 학문이며 둘째로 소자 제조학적으로 트랜지스터가 만들어져 능동소자로 전자회로의 중요한 구성요소가 되면서 발진과 증폭이 빠르고 소형화와 경량화로 마이크로프로세서 장치의 복잡한 전기전자기기가 발전하게 되었다. 셋째로 반도체 공정학적으로 집적회로(IC)로 생산이 가능한 공정 방법들이 개발되면서 스마트폰, PC, TV 등 가정과 산업용 전기전자기기에 일대 혁명을 가져왔다. 따라서 국가 직무 능력 표준 교육에서 반도체 이론과 공정 교재로서 창의적이고 전문적인 지식을 갖춘 전자 공학인 양성과 산업체 현장에서 적용할 수 있는 내용으로 보다 쉽고 친숙하게 이해할 수 있도록 교재를 출간하였다. 또한 반도체 분야를 전공하는 고등학교, 전문대학 및 대학교 학생들과 일반인들에게 안성맞춤일 것이다.

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